1）內部加熱元件發生熱能后，經過風機和銜接管道將熱空氣吹入活性炭床，使活性炭床升溫；

2）經過吸附工藝的活性炭在溫度變化后，有機物從活性炭中氣化解析出來，在風機負壓引導下有機物經過脫附管道進入催化焚燒床再次升溫并與填裝在催化焚燒床內部的貴金屬催化劑發生化學反響，有機物得到二次分化凈化。

3）當催化床溫度到達250～300℃時，有機物即可開始反響，運用廢氣焚燒發生的熱空氣循環運用，反響后的熱量到達值時加熱元件可以停止工作（即為無功率運行狀態）。

4）活性炭脫附后的小風量、高濃度有機廢氣進入換熱器進行換熱，完成對余熱的收回，換熱器后經過加熱器（選用多組電加熱管進行加熱）對廢氣進一步升溫，升溫后的有機廢氣到達廢氣在催化劑效果下的起燃溫度。廢氣進入催化焚燒床，在催化劑的效果下，高溫裂解成CO2和H2O，有機成分得到凈化，同時有機廢氣裂解釋放出熱量使氣體溫度進一步升高，凈化后的尾氣經過兩級換熱器完成余熱的收回運用。